物理学院博约学术论坛-李涛涛-第553期
来源: 作者: 发布时间:2025-11-26邀请人:
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时间: 2025-11-26
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主讲人简介:
物理学院“博约学术论坛”系列报告
第553期
题目:6英寸过渡金属硫族化合物单晶普适性制备 |
报告人:李涛涛 副教授 (南京大学) 时 间:2025年11月26日(周三)14:00~15:00 地 点:良乡校区,物理实验中心229会议室 |
摘要: 过渡金属硫族化合物具有原子尺度的极限厚度、高迁移率和可后端异质集成等特点,为解决后摩尔时代集成电路功耗和算力问题提供新的解决方案。大面积、高质量的材料外延制备是实现未来集成应用的基础。近期,我们开发了单分子层表面钝化技术,获得P1对称性表面,实现了TMDC单一取向的外延生长,在国际上首次实现6英寸二维半导体单晶(MoS2/WS2/MoSe2/WSe2)普适性外延制备。所得材料展现数优异的电学性质,其中n型MoS2室温平均迁移率110 cm2V-1s-1, p型WSe2室温平均迁移率130 cm2V-1s-1,为二维CMOS电路奠定关键的材料基础。进一步,利用多种表征技术和第一性原理计算,构建了P1对称性的表面原子结构模型,揭示了表面对称性对二维半导体材料的外延关系、外延取向调控的物理本质。该技术兼容多种CVD、MOCVD工艺和产业化蓝宝石衬底,可扩展至12英寸,具备规模化制造能力,为二维半导体产业化提供了明确路径。 |
李涛涛,南京大学集成电路学院准聘副教授,博士生导师,国家优秀青年基金获得者。主要研究方向为晶圆级二维半导体单晶外延生长及器件应用。近五年以第一/通讯作者(含共同)的研究成果发表在Science, Nature, Nature Nanotechnology, Nature Materials等期刊,引用4000余次。获中国、美国、日本专利授权12项,入选小米青年学者、2DM新锐青年科学家、姑苏创新创业领军人才等,成果入选江苏省优秀博士学位论文(2023)、中国半导体十大研究进展(2022)、京博科技奖(2022)、江苏省自然科学百篇优秀学术成果论文(2023)等。 |
联系方式:13621092854 邀请人: 郑守君、周家东 网 址:http://physics.bit.edu.cn/ 承办单位:物理学院、先进光电量子结构设计与测量教育部重点实验室 |
